Trước đây, Xuân Phương là một xã thuộc huyện Từ Liêm cũ.

Ngày 27 tháng 12 năm 2013, Chính phủ ban hành Nghị quyết số 132/NQ-CP về việc điều chỉnh địa giới hành chính huyện Từ Liêm để thành lập 2 quận và 23 phường thuộc thành phố Hà Nội[1]. Theo đó:

• Điều chỉnh 9,30 ha diện tích tự nhiên và 596 người của xã Xuân Phương ở phía bắc Quốc lộ 32 về phường Tây Tựu thuộc quận Bắc Từ Liêm mới thành lập
• Chuyển xã Xuân Phương về quận Nam Từ Liêm mới thành lập
• Thành lập phường Phương Canh trên cơ sở điều chỉnh 260,76 ha diện tích tự nhiên và 20.243 người của xã Xuân Phương
• Thành lập phường Xuân Phương trên cơ sở điều chỉnh 275,58 ha diện tích tự nhiên và 13.809 người còn lại của xã Xuân Phương.